PTC等静压机在层压工艺中的故障判断分析  

Fault Diagnosis and Analysis of PTC Isostatic Press in Laminating Process

作　　者：张辉[1] Zhang Hui

机构地区：[1]中国电子科技集团公司第十三研究所,河北石家庄050051

出　　处：《设备管理与维修》2022年第4期54-56,共3页Plant Maintenance Engineering

摘　　要：介绍低温共烧陶瓷层压工艺的特点,拆解分析PTC等静压机各部分的组成结构,详细解析层压设备的工作原理和工艺流程。以理论知识为基础,结合多年的半导体设备维修经验,依据故障树分析法梳理常见的故障现象,并给出相应的处理方法及解决步骤。

关 键 词：层压工艺 等静压机 操作 维护保养 

分 类 号：TN305[电子电信—物理电子学]