提高半导体工厂的配电可靠性  

Improving Power Distribution Reliability in Semiconductor Factories

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作  者: 

机构地区:[1]施耐德电气

出  处:《现代制造》2022年第3期40-40,共1页Maschinen Markt

摘  要:半导体制造工厂需要消耗大量电力来支持其设施运行和制造过程。大型工厂每小时可消耗高达100 MW时电力,相当于一个普通家庭17年左右的耗电量,超过了许多炼油厂和汽车制造厂的耗电量。随着产量增加以及过程复杂性提高,电力消耗会持续增加。例如,最新的极紫外光刻技术的耗电量是从前的10倍。

关 键 词:汽车制造厂 半导体制造 电力消耗 设施运行 耗电量 普通家庭 

分 类 号:F42[经济管理—产业经济]

 

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