检索规则说明:AND代表“并且”;OR代表“或者”;NOT代表“不包含”;(注意必须大写,运算符两边需空一格)
检 索 范 例 :范例一: (K=图书馆学 OR K=情报学) AND A=范并思 范例二:J=计算机应用与软件 AND (U=C++ OR U=Basic) NOT M=Visual
作 者:无
机构地区:[1]施耐德电气
出 处:《现代制造》2022年第3期40-40,共1页Maschinen Markt
摘 要:半导体制造工厂需要消耗大量电力来支持其设施运行和制造过程。大型工厂每小时可消耗高达100 MW时电力,相当于一个普通家庭17年左右的耗电量,超过了许多炼油厂和汽车制造厂的耗电量。随着产量增加以及过程复杂性提高,电力消耗会持续增加。例如,最新的极紫外光刻技术的耗电量是从前的10倍。
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