并五苯场效应晶体管的制备及性能研究  

作　　者：陈磊 陶海军[1] 

机构地区：[1]南京航空航天大学材料学院

出　　处：《石油石化物资采购》2022年第5期76-78,共3页Petroleum & Petrochemical Material Procurement

摘　　要：论文在深入了解有机场效应晶体管的基本理论上,对并五苯场效应晶体管的制备工艺进行讨论,制备了基于并五苯材料的有机薄膜场效应晶体管。制备工艺步骤主要包括衬底的处理与清洗、旋涂法制备绝缘层、并五苯有源层的蒸镀、电极的制备以及性能测试。期望本文的研究能够对并五苯场效应晶体管的制备提供参考。

关 键 词：并五苯 场效应晶体管 制备工艺 

分 类 号：TN3[电子电信—物理电子学]