电容式MEMS加速度计非线性校准系统设计与实现  

作　　者：丁涛涛 赵正前 车录锋[1] 

机构地区：[1]浙江大学绍兴研究院,浙江省绍兴市312035

出　　处：《电子技术与软件工程》2022年第4期92-96,共5页ELECTRONIC TECHNOLOGY & SOFTWARE ENGINEERING

基　　金：国家自然科学基金资助项目(41674181)。

摘　　要：本文阐述了电容式MEMS加速度计出现较大的非线性系数以及正负标度因子不一致问题的原因,为此设计并实现了一套基于补偿电容法的MEMS加速度计非线性校准系统,并使用优化算法来提高校准效率,校准偿后传感器的二阶非线性系数可达到10^(-4)量级。

关 键 词：MEMS 非线性系数 补偿电容法 校准 

分 类 号：TH824.4[机械工程—仪器科学与技术]