基于氮化硼薄膜的alpha粒子探测器  

作　　者：王少堂 黄河[1] 岳秀萍 万志永 

机构地区：[1]东华理工大学机械与电子工程学院,江西省南昌市330013

出　　处：《电子技术与软件工程》2022年第5期89-92,共4页ELECTRONIC TECHNOLOGY & SOFTWARE ENGINEERING

摘　　要：本文利用低压化学气相沉积法在蓝宝石衬底上外延生长了高质量的厚度为1μm的h-BN。在h-BN上沉积Au电极制备了MSM(Metal-Semiconductor-Metal)结构的alpha粒子探测器。对制备器件的电学特性进行测试,结果表明无论是正向电压还是反向电压,探测器的漏电流都在纳安数量级,满足核辐射探测器的要求。利用能量为5.48MeV的^(241)Am alpha源测试了探测器的alpha粒子响应,测试结果表明,探测器能够实现对alpha粒子的探测,这些结果清楚的表明,高质量的h-BN有望在核辐射探测领域得到应用。

关 键 词：H-BN 探测器 MSM结构 alpha粒子 

分 类 号：O572.212[理学—粒子物理与原子核物理] TN304.055[理学—物理] TB383.3[电子电信—物理电子学]