MSM结构

作品数：28被引量：38H指数：3
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基于法布里-珀罗共振的红外探测器性能分析
《山西大同大学学报（自然科学版）》2024年第4期9-12,共4页黄磊 杨春花 刘红梅 胡洪武 
山西大同大学研究生教改项目[23JG10];山西大同大学云冈专项项目[2022YGZX001]。
红外探测器吸收性能的相关研究一直是备受关注的研究领域,吸收率仍存在进一步提升的潜力。设计了金属-半导体-金属(MSM)型量子阱红外探测器结构,并在仿真软件中模拟计算了其吸收率。结果表明,该结构可以在特定频率下发生法布里-珀罗共振...
关键词：FP共振 MSM结构 红外探测器 斜入射 
基于超宽β-Ga_(2)O_(3)微米带的日盲光电探测器研究被引量：1
《电子元件与材料》2023年第3期294-302,共9页马珂 陈海峰 刘涛 陆芹 
国家自然科学基金(62204203);陕西省自然科学基础研究计划(2020JM-581)。
氧化镓的禁带宽度接近5 eV,是一种极具前景的日盲紫外探测半导体材料。基于碳热还原法生长高质量β-Ga_(2)O_(3)微米带制备出MSM(Metal-Semiconductor-Metal)结构光电导紫外探测器,研究了不同的结构对光电器件性能的影响。结果表明等间...
关键词：β-Ga_(2)O_(3) 碳热还原法 紫外探测器 MSM结构 
基于氮化硼薄膜的alpha粒子探测器被引量：1
《电子技术与软件工程》2022年第5期89-92,共4页王少堂 黄河 岳秀萍 万志永 
本文利用低压化学气相沉积法在蓝宝石衬底上外延生长了高质量的厚度为1μm的h-BN。在h-BN上沉积Au电极制备了MSM(Metal-Semiconductor-Metal)结构的alpha粒子探测器。对制备器件的电学特性进行测试,结果表明无论是正向电压还是反向电压...
关键词：H-BN 探测器 MSM结构 alpha粒子 
基于MSM结构的表面等离子体共振光纤折射率传感器被引量：4
《半导体光电》2020年第2期205-210,共6页郭志勇 葛益娴 沈令闻 张鹏 顾钦顺 
国家自然科学基金项目(61307061);江苏高校优势学科Ⅲ期建设工程资助项目.
基于表面等离子体共振(SPR)效应,设计了一种基于多模-单模-多模(MSM)结构的光纤折射率传感器。采用光纤熔接的方式构成MSM结构,并且在单模光纤的表面涂覆二氧化钛/银(TiO2/Ag)复合膜构成传感单元。利用FDTD Solutions仿真分析了单模光...
关键词：光纤传感器 表面等离子体共振 MSM结构 折射率 复合膜 
MgZnO薄膜晶体管在紫外探测中的特性研究被引量：1
《电脑知识与技术》2020年第6期252-254,共3页吴昀卓 高晓红 秦大双 曾一明 张耕严 岳廷峰 刘建文 
大学生创新创业训练计划项目(201910191059)。
室温下通过磁控溅射的方式在热氧化SiO2的衬底上沉积MgZnO薄膜,研究Mg元素的少量掺杂对薄膜以及器件性能的影响,使用湿法刻蚀的方法制备了MSM结构的器件。器件开关比3.66×106,在入射波长为365nm、254nm的光照下响应度分别达到了3.16A/W...
关键词：MgZnO薄膜晶体管 MgZnO薄膜 MSM结构 响应度 光暗电流比 
MSM结构TiO_2基紫外探测器的制备及光电特性研究（英文）被引量：2
《稀有金属材料与工程》2017年第10期2781-2784,共4页祁洪飞 戴松喦 刘大博 王锦鹏 
Innovation Foundation of Aviation Industry Corporation of China(JK65150307)
采用RF磁控溅射技术在石英衬底上生长了厚度可调的锐钛矿相TiO_2薄膜,继而采用光刻技术在薄膜上生长了Ag叉指电极,获得了MSM结构TiO_2基紫外探测器。I-V特性测试结果表明,Ag与TiO_2之间表现出优良的欧姆接触特性,所制备探测器为欧姆接...
关键词：Ag电极 TIO2薄膜 薄膜厚度 光电特性 
Hydrogen Gas Sensor Based on ZnO Nanoroads Grown on Si by Thermal Evaporation
《材料科学与工程（中英文A版）》2016年第2期51-56,共6页Hind Ibraheem Abdulgafour Hassan Hadi Darwoysh Faez Mohamad Hassan 
关键词：氢气传感器 硅传感器 ZNO 热蒸发 氧化锌纳米棒 金属-半导体-金属 气体传感器 MSM结构 
MSM结构InGaZnO紫外探测器的制备及性能研究
《智富时代》2014年第12X期164-164,共1页姜殿利 马新志 
利用等离子体辅助的脉冲激光沉积技术在c面蓝宝石衬底上,在室温条件下制备了非晶InGaZnO薄膜,在其基础上制备了金属-半导体-金属结构紫外探测器,并测量了探测器的光谱响应和时间响应特性。
关键词：非晶InGaZnO 金属-半导体-金属结构 紫外探测器 
AlGaN MSM结构日盲型紫外探测器被引量：1
《现代电子技术》2014年第20期120-122,126,共4页杨莲红 张保花 王俊珺 魏伟 
昌吉学院院级课题(2011YJYB001;2011YJB006);昌吉学院重点建设学科项目(昌院校发[2012]92号)
采用低压-金属有机化学气相沉积（MOCVD）法在（0001）方向的AlN/蓝宝石模板上生长得到Al组分为40%的AlGaN材料，设计并制作了MSM型AlGaN 日盲紫外探测器。通过HRXRD，SEM，AFM对AlGaN材料进行了表征，结果表明：该材料为六方相结构，...
关键词：日盲型 紫外探测器 金属有机化学气相沉积法 光谱响应 
MSM结构紫外探测器的研究
《现代交际》2014年第12期96-96,共1页郭明 侯丽新 邢淑芝 韩颖 
吉林省教育厅"十一五"科学技术研究项目2010496
金属-半导体-金属(MSM)结构探测器结构简单,可避免材料因高掺杂所带来的困难,简化了加工、制备的过程。MSM型紫外探测器优点多:高增益、暗电流低、响应速率快、大带宽以及高灵敏度。但MSM型探测器工作在偏压状态下,工作偏压决定了探测...
关键词：紫外 光电探测器 金属-半导体-金属 
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