低温低压和低温常压等离子体设备的搭建及其应用研究  

作　　者：段小晋[1] 

机构地区：[1]国家知识产权局,北京100088

出　　处：《通讯世界》2022年第2期196-198,共3页Telecom World

摘　　要：低温等离子体存在很多活性离子和电子,在半导体制造业、材料工业等领域中得到广泛应用。根据其工作气压可以将等离子体划分为低温低压等离子体和低温常压等离子体。基于此,本文分别分析了低温低压和低温常压等离子体设备的搭建,并探讨了低温等离子体设备的应用,以期能够积极拓展等离子体设备的应用功能,在各个行业中发挥出重要价值,推动科技进步。

关 键 词：低温低压 低温常压 等离子体设备 

分 类 号：TN305[电子电信—物理电子学]