中科院上海微系统所制备出微型光电一体化集成钻石量子磁传感器  

出　　处：《传感器世界》2022年第5期42-43,共2页Sensor World

摘　　要：中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室采用微纳加工技术,制备了一种基于氮空位(NV)色心的微型光电一体化集成钻石量子磁传感器。2022年5月9日,相关研究成果以“Amicrofabricatedfiber-Integrated Diamond Magnetometer with Ensemble Nitrogen-Vacancy Centers”为题发表在Applied Physics Letters上。小型化、集成化、便携化是钻石量子传感器取得实际应用的重要条件。该团队基于晶圆级微机电工艺平台,利用标准微纳加工技术,制备出钻石量子磁传感器的核心--钻石芯片。芯片内部集成了微波辐射结构,实现了原位微波量子态操控。研究采用金属热压键合技术,实现了钻石单晶与硅晶圆的异质集成,确保了机械稳定性。钻石芯片耦合带有梯度变化折射率透镜的光纤模块,实现了“光进光出”的工作模式。

关 键 词：磁传感器 传感技术 国家重点实验室 信息技术 微纳加工技术 机械稳定性 中国科学院 热压键合 

分 类 号：TP212[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]