让我们看看0.2nm工艺要如何实现解读IMEC未来工艺发展路线图  

作　　者：徐昌宇(文/图) 

机构地区：[1]不详

出　　处：《微型计算机》2022年第14期96-102,共7页MicroComputer

摘　　要：半导体工艺在持续不断进步,虽然在3nm以及更先进的2nm、1nm工艺上,研发人员遇到了很大的阻力。但是从技术先行的角度,IMEC以及其他厂商还是提出了不少解决方案,希望先于实际生产实现将理论可能性持续推进至亚纳米级别,为随后的工程研发提供指导。近期,IMEC在比利时安特卫普召开了相关会议,对未来亚纳米级别的工艺发展路线图进行了说明。

关 键 词：研发人员 半导体工艺 安特卫普 发展路线图 纳米级别 持续推进 工程研发 技术先行 

分 类 号：F41[经济管理—产业经济]