无氧腐蚀清洗腔设计及工艺过程控制  

作　　者：郭立刚 赵妍 艾海丰 郭育澎 王峥 王维桐 

机构地区：[1]中国电子科技集团公司第四十五研究所,北京100176

出　　处：《清洗世界》2022年第8期19-20,共2页Cleaning World

摘　　要：本文针对湿法腐蚀二氧化硅薄膜工艺,设计了一种无氧腐蚀清洗腔。同时介绍了湿法腐蚀二氧化硅原理,并重点阐述了无氧环境下的湿法腐蚀二氧化硅工艺过程控制。

关 键 词：湿法腐蚀 无氧腐蚀 工艺过程控制 

分 类 号：TN305[电子电信—物理电子学]