芯片制造商戒不了化石燃料的瘾  

作　　者：Betty Hou Stephen Stapczynski 晴川(译) 

机构地区：[1]不详

出　　处：《商业周刊（中文版）》2022年第15期19-20,共2页Bloomberg Businessweek

摘　　要：制造世界上最高级半导体的机器是当代工程学的奇迹。该机器名为极紫外光刻机,简称EUV,这个机器将硅晶圆置于人眼看不见的光波中,在晶圆表面材料上刻下精确到几纳米的图案。为创造出这种特殊光线,EUV用激光蒸发融化的锡,然后利用镜子将这些射线聚焦成更细微的波长。

关 键 词：芯片制造商 硅晶圆 极紫外光刻机 激光蒸发 表面材料 化石燃料 半导体 工程学 

分 类 号：TN3[电子电信—物理电子学]