一种高灵敏度的电容式湿度传感器  

A Capacitive Humidity Sensor with High Sensitivity

作　　者：陈果[1,2] 唐诚 王忠秀 王韬 CHEN Guo;TANG Cheng;WANG Zhongxiu;WANG Tao

机构地区：[1]电子科技大学,四川成都610000 [2]贵阳航天智慧农业有限公司,贵州贵阳550000

出　　处：《自动化应用》2022年第8期36-37,41,共3页Automation Application

摘　　要：湿度在日常生活工作中与人们息息相关,而电容式湿度传感器更是被广泛应用在食品检测、环境监控、生物医疗及工业生产等各个领域中,但是存在诸多不足之处,例如灵敏度不高、稳定性差、器件尺寸大等问题。为了应对电容式湿度传感器的这些问题,提供了一种优化设计,设计了一种MEMS电容式湿度传感器,在半导体工艺中,引入Mo金属层,作加热层和遮蔽电极层,从而减小湿滞和传感器寄生电容,感湿材料上选择含氟PI,进而提高传感器灵敏度。通过传感器湿度特性分析,证明了该湿度传感器有着灵敏度高、重复性好、湿滞效应小且器件尺寸小的优点。

关 键 词：MEMS电容式湿度传感器 Mo加热层 聚酰亚胺(PI) 半导体工艺 

分 类 号：TP212[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]