NI CRIO与EntherCAT相结合的离子注入机运动控制系统  

Motion control system of ion implanter based on NICRIO and EntherCAT

作　　者：李建基 孙冲 LI Jianji;SUN Chong

机构地区：[1]北京烁科中科信电子装备有限公司,北京101100

出　　处：《自动化应用》2022年第10期155-158,共4页Automation Application

摘　　要：运动控制系统是离子注入剂量控制系统的关键核心组成部分,运动控制的精度和可靠性会直接影响离子在晶圆的掺杂工艺水平。高能离子注入机(简称高能机)剂量运动控系统主要包括:NI CRIO控制器、移动法拉第运动电机、机械扫描电机运动电机以及VPS运动电机。通过NI控制器及其运动模块控制3个电机的运动,结合稳定的剂量量测系统,为离子注入机完成注入任务提供了重要保障。

关 键 词：离子注入机 NI CRIO控制器 ETHERCAT 运动控制 移动法拉第 机械扫描 VPS 

分 类 号：TP23[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]