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出  处:《中国高新区》2022年第12期19-19,共1页Science & Technology Industry Parks

摘  要:刘世元:成功研发计算光刻EDA软件“OPC是EDA(电子设计自动化)工业软件的一种,没有这种软件,即使有光刻机,也造不出芯片。从基础研究到产业化应用,我们团队整整走了十年。十年磨一剑,就是要解决芯片从设计到制造的卡脖子问题。”

关 键 词:产业化应用 OPC EDA软件 光刻机 芯片 

分 类 号:TP3[自动化与计算机技术—计算机科学与技术]

 

参考文献:

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