“超精密测量技术”专题前言  

作　　者：谭久彬 刘世元[6,7,8] 赵维谦[9,10] 居冰峰 

机构地区：[1]中国工程院 [2]哈尔滨工业大学精密仪器工程研究院 [3]国家计量战略专家咨询委员会 [4]中国仪器仪表学会 [5]中国计量测试学会 [6]华中科技大学集成电路测量装备研究中心 [7]湖北光谷实验室集成电路测量检测装备技术创新中心 [8]中国仪器仪表学会显微仪器分会 [9]北京理工大学光电学院 [10]北京理工大学信息学部 [11]浙江大学机械工程学院

出　　处：《激光与光电子学进展》2023年第3期I0002-I0002,I0001,共2页Laser & Optoelectronics Progress

摘　　要：超精密测量是指测量精度达到纳米量级的先进测量技术、系统与仪器,是现代科技发展与高端装备制造的基石,涉及物理、材料、光学、机械、电子、控制和算法等多个学科的深度交叉与融合。超精密测量主要以非接触的光学测量方式为主,其涉及干涉、衍射、光谱、偏振和散射等基础效应与测量原理,具有分辨力高、速度快、非破坏、易于集成等优势,一直是超精密测量的重点发展方向。

关 键 词：光学测量 超精密测量 重点发展方向 分辨力 现代科技发展 交叉与融合 先进测量技术 基础效应 

分 类 号：TG806[金属学及工艺—公差测量技术]