一种扩散硅压力变送器的设计  

作　　者：胡永良 郑永富 

机构地区：[1]太原太航德克森自控工程股份有限公司

出　　处：《中国计量》2023年第4期55-58,共4页China Metrology

摘　　要：扩散硅压力变送器的测压传感器是由半导体硅材料组成,其最大特点就是温度特性。当温度改变时,与压力成比例的输出信号会有较大变化,由此造成较大的测量误差。实验证实,在相同条件下,温度变化1℃,会有0.1%的误差。压力输出受温度变化的影响是扩散硅传感器面临的技术难点,文章通过采用线性插值法的温度修正方式,设计了一款高准确度的扩散硅压力变送器。

关 键 词：压力变送器 扩散硅压力传感器 线性插值法 温度修正 低功耗 

分 类 号：TH812[机械工程—仪器科学与技术] TP212[机械工程—精密仪器及机械]