扩散硅压力传感器

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扩散硅压力传感器失效研究被引量：1
《电子产品可靠性与环境试验》2023年第3期48-55,共8页刘炳 林杰锋 
扩散硅压力传感器具有精度高、利于小型化和智能化等特点而被广泛使用。针对该类传感器出现的不同失效模式,合理采用X射线检测系统、OBIRCH定位、荧光定位和SEM&EDS等技术,可以快速准确地定位失效位置。列举了芯片破裂、过电击穿、腐蚀...
关键词：扩散硅压力传感器 失效分析 荧光定位 光诱导电阻变化 X射线 
一种扩散硅压力变送器的设计被引量：3
《中国计量》2023年第4期55-58,共4页胡永良 郑永富 
扩散硅压力变送器的测压传感器是由半导体硅材料组成,其最大特点就是温度特性。当温度改变时,与压力成比例的输出信号会有较大变化,由此造成较大的测量误差。实验证实,在相同条件下,温度变化1℃,会有0.1%的误差。压力输出受温度变化的...
关键词：压力变送器 扩散硅压力传感器 线性插值法 温度修正 低功耗 
基于AD7715模数转换器的小信号采集系统
《自动化与仪表》2022年第1期66-70,共5页高峰 肖甲 
在压力测试中,为了对气压或者液压进行准确的测量,通常利用扩散硅压力传感器作为测量转换器件,通过对其输出微弱的模拟信号进行分析,设计出相应的信号处理电路。该文使用轨到轨运算放大芯片OPA4188AIDBV设计小信号前置放大电路,使用芯片...
关键词：扩散硅压力传感器 小信号 OPA4188AIDBV OPA188AIDBV 放大滤波 AD7715 
扩散硅压力传感器现场使用存在问题和解决对策被引量：3
《仪器仪表用户》2020年第7期18-20,81,共4页李占东 周建国 孟庆馥 
扩散硅压力传感器是目前给排水行业普遍采用测量现场管网压力和水池、水箱水位的电气设备。一般情况下,安装在地下窨井、管廊、车间及露天等潮湿、雨淋甚至存在有害气体的环境,对传感器测量精度、稳定性及使用寿命造成很大影响。实际应...
关键词：扩散硅压力传感器 气压隔离 测量精度 稳定性 使用寿命 
扩散硅压力传感器长期稳定性提升试验方法研究被引量：3
《传感技术学报》2020年第1期57-62,共6页刘帅 杜晓辉 朱敏杰 刘丹 任福琴 
国家自然科学基金青年科学基金项目(61704064);总装预先研究项目(31513060109-2)。
扩散硅压力传感器结构简单、集成度高、批量制造兼容性强,是目前MEMS领域研究最多的传感器类型,该类传感器面向航空航天等高端应用的最大技术瓶颈是封装后的传感器长期稳定性,因此相关长期稳定性提升技术已成为学术界和产业界广泛关注...
关键词：微机电系统 长期稳定性 正交试验 扩散硅压力传感器 环境应力 
基于PSO-BP模型的扩散硅压力传感器温度补偿被引量：16
《中国测试》2019年第11期95-100,125,共7页崔萌洁 卢文科 左锋 
硅的电导率易受温度影响,导致扩散硅压力传感器的输出电压随温度变化产生漂移,需对该传感器进行温度补偿,针对该问题提出粒子群优化的BP神经网络算法(PSO-BP)。通过二维标定实验,利用温度传感器监测实验环境温度,得到扩散硅压力传感器...
关键词：半导体技术 压力传感器 温度补偿 粒子群算法 BP神经网络 
基于同步监测的锚杆受力监测系统设计被引量：3
《工矿自动化》2019年第5期92-95,共4页彭跃金 李青锋 邓弘哲 谷洪飞 黄启云 
湖南省自然科学基金面上资助项目(2018JJ2130)
针对现有锚杆受力监测方法存在的结构复杂、测点单一、安装不便等问题,设计了基于同步监测的锚杆受力监测系统。该系统选用扩散硅压力传感器采集巷道某一断面的锚杆轴向力,可同时获取8根锚杆的受力数据;将采集的数据进行分压滤波、AD转...
关键词：锚杆支护 锚杆受力监测 同步监测 扩散硅压力传感器 分压滤波 
基于PSO-LSSVM模型的扩散硅压力传感器的温度补偿被引量：5
《仪表技术与传感器》2017年第12期25-29,共5页杨婷 卢文科 左锋 
针对扩散硅压力传感器温度漂移的问题,文中提出了一种基于粒子群算法优化最小二乘支持向量机(PSO-LSSVM)的温度补偿模型。通过对扩散硅压力传感器做二维标定实验,利用AD590集成温度传感器监测实验环境温度,建立PSO-LSSVM模型。最小二乘...
关键词：扩散硅压力传感器 温度补偿 粒子群算法 最小二乘支持向量机 
扩散硅压力传感器灵敏度温度归一化补偿算法被引量：1
《仪器仪表用户》2017年第5期1-4,共4页曹庆伟 
文章主要介绍了公司在对于扩散硅压阻式压力传感器灵敏度温度补偿的工作中,经过长期探索、实验,发现了传感器补偿算法。在原先对压力传感器进行灵敏度温度误差补偿纠正的算法中,又加入了调节传感器满量程大小方法,并形成了成熟的归一化...
关键词：扩散硅压阻式压力传感器 灵敏度温度补偿 归一化 
扩散硅压力变送器的温度补偿方法被引量：2
《仪器仪表用户》2016年第4期5-7,34,共4页孟丹丹 陈兵 秦文 
天津市科技计划项目(13ZCZDGX01700)
扩散硅压力变送器具有精度高、稳定性好、响应速度快等优点,但容易受温度影响,导致零点漂移和灵敏度漂移。因此需对扩散硅压力变送器进行温度补偿。本文提出了一种软件补偿方法,首先建立扩散硅压力变送器与温度的高阶温度补偿模型,工控...
关键词：扩散硅压力传感器 温度补偿模型 最小二乘回归法 
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