打造国际一流光电装备工业研究院开拓成果转化新模式  

作　　者：洪明辉 

机构地区：[1]厦门大学萨本栋微米纳米科学技术研究院

出　　处：《厦门科技》2023年第2期1-1,共1页Xiamen Science & Technology

摘　　要：随着半导体工业、生物医学等领域的迅猛发展,人们对纳米尺度物体的形貌表征需求与日俱增。传统光学显微镜受到光的衍射效应的制约,其分辨率极限为200 nm左右。然而,目前光学微球纳米显微镜受限于其放大率和数值孔径,通常需要在液体或固体浸没环境中才能够观察到亚50nm尺度的样品结构。

关 键 词：工业研究院 半导体工业 光的衍射 成果转化 光电装备 数值孔径 放大率 形貌表征 

分 类 号：F42[经济管理—产业经济]