超精密工程防微振基础施工模态精细化控制技术  

作　　者：无 黄伟 祖晓臣 王菲 王辛 岳方方 

机构地区：[1]国机集团科学技术研究院有限公司 [2]不详 [3]国机集团科学技术研究院有限公司国机集团工程振动控制技术研究中心

出　　处：《中国科技成果》2023年第7期61-62,共2页China Science and Technology Achievements

摘　　要：近年来,我国在航空航天、国防军工、生物医学、半导体等行业发展迅猛,开展了系列攻关研究,解决了许多重大科学技术问题和"卡脖子"关键难题,其中,与超精密装备及工程应用密不可分,如航空航天飞行器的地面装调试验、武器研发及瞄准系统、光栅刻划及光学试验、芯片生产及产品质量等,都与微振动控制息息相关.

关 键 词：国防军工 芯片生产 光栅刻划 航空航天 瞄准系统 基础施工 光学试验 产品质量 

分 类 号：F426.9[经济管理—产业经济]