光栅刻划

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相关作者：齐向东唐玉国巴音贺希格于海利糜小涛更多>>
相关机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所中国科学院大学合肥工业大学中国科学技术大学更多>>
相关期刊：《微细加工技术》《中国科技成果》《机械设计》《机电产品开发与创新》更多>>
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面向光栅刻划机的负刚度结构隔振性能优化
《机械设计与制造》2024年第3期1-5,共5页葛新方 王孝平 
国家自然科学基金项目(51705117)。
大面积光栅刻划机实验室存在的复杂振动因素,会对它的运行及刻画精度造成影响,针对光栅刻划机设计一种正负刚度并联的被动隔振结构,改善仅有空气弹簧时对低频隔振无效的现象,拓宽隔振频带。为模拟隔振器隔振性能,建立系统的动力学模型...
关键词：负刚度 非线性 磁体 结构设计 动力学分析 谐波平衡法 
光栅刻划刀具弹性支撑机构颤振抑制性能优化
《光学精密工程》2023年第13期1941-1949,共9页于硕 王玮 李文昊 吉日嘎兰图 
国家自然科学基金资助项目(No.62075216);中国科学院战略性先导科技专项(C类)资助(No.XDC04000000)。
机械刻划是以中阶梯光栅为主导的大闪耀角、高衍射级次光栅的主要加工方法,其大闪耀角特性使中阶梯光栅的刻划加工难度大幅增加。当光栅刻划刀对刃误差较大,或刀具非力平衡设计时,刻划过程中刀具会受到较大水平扭矩,易导致刀具颤振现象...
关键词：机械刻划法 刻划刀架 颤振信号 中阶梯光栅 
超精密工程防微振基础施工模态精细化控制技术
《中国科技成果》2023年第7期61-62,共2页无 黄伟 祖晓臣 王菲 王辛 岳方方 
近年来,我国在航空航天、国防军工、生物医学、半导体等行业发展迅猛,开展了系列攻关研究,解决了许多重大科学技术问题和"卡脖子"关键难题,其中,与超精密装备及工程应用密不可分,如航空航天飞行器的地面装调试验、武器研发及瞄准系统、...
关键词：国防军工 芯片生产 光栅刻划 航空航天 瞄准系统 基础施工 光学试验 产品质量 
大型高精度衍射光栅刻划系统
《中国科学院院刊》2018年第S1期48-51,共4页中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 
仪器研发背景 衍射光栅(以下简称'光栅')是一种具有纳米精度周期性微结构的精密光学元件,可以把复色光分解为单色光.光栅不仅是各类光谱仪器的'心脏',同时在光通信、激光器、激光惯性约束核聚变等众多领域都有非常重要的应用.光栅面积...
揭秘“精密机械之王”被引量：4
《中国基础科学》2018年第2期48-52,62,共6页唐玉国 巴音贺希格 竺长安 金一 
973计划(2014CB049500)
大型光学系统及高端科学仪器对我国科学研究、国防安全、经济建设和社会民生等各领域的进步和发展具有极其重要的作用。其发展的重要趋势是:视场不断增大,分辨力不断提高,相应地要求光学元器件扩大口径和提高精度。而光栅是一类以机械...
关键词：大面积光栅 刻划光栅 光栅刻划机 超精密制造 
光栅刻划机阿贝误差对光栅衍射波前质量的影响及其校正方法被引量：4
《中国激光》2017年第9期142-150,共9页糜小涛 于海利 于宏柱 齐向东 李晓天 万秋华 
国家973计划(2014CB049500);国家自然科学基金(61605204);重大科学仪器设备开发专项(2016YFF0103304)
衍射波前质量是衡量刻划光栅性能的重要指标之一,光栅刻划机若存在阿贝误差,将直接影响刻线位置精度,从而影响光栅的波前质量。建立了刻划机阿贝误差与光栅衍射波前质量的物理模型,并分析了该误差对波前质量的影响。针对该误差设计了一...
关键词：衍射光栅 阿贝误差 衍射波前 刻线位置误差 刻划机 
光栅刻划机直线度误差补偿的研究被引量：3
《光谱学与光谱分析》2017年第3期946-951,共6页黄元申 董成成 黄运柏 盛斌 周红艳 孙乐 杨海马 张大伟 
国家自然科学基金项目(61378060.61205156);上海市科学仪器重点项目(14142200902)资助
中阶梯光栅是一种特殊的衍射光栅,它以高的衍射级次和大的衍射角来工作,具有高分辨率、全波闪耀等特性。已广泛应用于高端光谱仪器之中,极大地促进了航天航空、天文、医疗、军事、环境等尖端科技的发展。但是专业的刻划系统需要定制,价...
关键词：中阶梯光栅 超精密单点金刚石车床 直线度 衍射波前 
世界最大面积中阶梯光栅 在长春光机所诞生被引量：1
《吉林画报》2016年第12期74-75,共2页王可航 
2016年11月12日,由中科院长春光机所承担的国家重大科研装备研制项目“大型高精度衍射光栅刻划系统的研制”顺利通过验收,由它刻划的世界最大面积中阶梯光栅在长春诞生。由中科院组织的验收专家组表示,光栅刻划系统和光栅都达到了项目...
关键词：中阶梯光栅 光栅刻划 光机所 
光栅刻划刀具刃磨振动控制
《长春工业大学学报》2016年第6期550-554,共5页马海涛 王珊珊 吉日嘎兰图 张赫鸣 倪留强 
吉林省科技发展计划基金资助项目(20140204075GX)
将刀具振动信号作为表征刃磨过程故障特征信号,采用串级控制方法,通过在线调整刀具向磨盘施加的研磨载荷大小来减小刃磨过程刀具的振动。仿真结果表明,刀具振动可以实时控制,减小了刃磨过程刀具的振动。
关键词：光栅刻划刀 刃磨 振动 串级控制 
我国制成世界最大面积中阶梯光栅
《科学之友》2016年第12期4-4,共1页
由中科院长春光机所承担的国家重大科研装备研制项目“大型高精度衍射光栅刻划系统的研制”顺利通过验收。这标志着我国大面积高精度光栅制造中的相关技术已达到国际水平，结束了我国在高精度大尺寸光栅制造领域受制于人的局面。
关键词：中阶梯光栅 最大面积 中科院长春光机所 世界 制造领域 高精度 光栅刻划 研制项目 
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