光栅刻划机

作品数：32被引量：78H指数：5
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相关作者：齐向东唐玉国巴音贺希格于海利糜小涛更多>>
相关机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所合肥工业大学中国科学技术大学中国科学院大学更多>>
相关期刊：《光学精密工程》《光学学报》《机械设计》《机械设计与制造》更多>>
相关基金：国家重大技术装备创新研制项目国家重点基础研究发展计划“十一五”国家科技支撑计划吉林省重大科技攻关项目更多>>
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面向光栅刻划机的负刚度结构隔振性能优化
《机械设计与制造》2024年第3期1-5,共5页葛新方 王孝平 
国家自然科学基金项目(51705117)。
大面积光栅刻划机实验室存在的复杂振动因素,会对它的运行及刻画精度造成影响,针对光栅刻划机设计一种正负刚度并联的被动隔振结构,改善仅有空气弹簧时对低频隔振无效的现象,拓宽隔振频带。为模拟隔振器隔振性能,建立系统的动力学模型...
关键词：负刚度 非线性 磁体 结构设计 动力学分析 谐波平衡法 
揭秘“精密机械之王”被引量：4
《中国基础科学》2018年第2期48-52,62,共6页唐玉国 巴音贺希格 竺长安 金一 
973计划(2014CB049500)
大型光学系统及高端科学仪器对我国科学研究、国防安全、经济建设和社会民生等各领域的进步和发展具有极其重要的作用。其发展的重要趋势是:视场不断增大,分辨力不断提高,相应地要求光学元器件扩大口径和提高精度。而光栅是一类以机械...
关键词：大面积光栅 刻划光栅 光栅刻划机 超精密制造 
光栅刻划机阿贝误差对光栅衍射波前质量的影响及其校正方法被引量：4
《中国激光》2017年第9期142-150,共9页糜小涛 于海利 于宏柱 齐向东 李晓天 万秋华 
国家973计划(2014CB049500);国家自然科学基金(61605204);重大科学仪器设备开发专项(2016YFF0103304)
衍射波前质量是衡量刻划光栅性能的重要指标之一,光栅刻划机若存在阿贝误差,将直接影响刻线位置精度,从而影响光栅的波前质量。建立了刻划机阿贝误差与光栅衍射波前质量的物理模型,并分析了该误差对波前质量的影响。针对该误差设计了一...
关键词：衍射光栅 阿贝误差 衍射波前 刻线位置误差 刻划机 
光栅刻划机直线度误差补偿的研究被引量：3
《光谱学与光谱分析》2017年第3期946-951,共6页黄元申 董成成 黄运柏 盛斌 周红艳 孙乐 杨海马 张大伟 
国家自然科学基金项目(61378060.61205156);上海市科学仪器重点项目(14142200902)资助
中阶梯光栅是一种特殊的衍射光栅,它以高的衍射级次和大的衍射角来工作,具有高分辨率、全波闪耀等特性。已广泛应用于高端光谱仪器之中,极大地促进了航天航空、天文、医疗、军事、环境等尖端科技的发展。但是专业的刻划系统需要定制,价...
关键词：中阶梯光栅 超精密单点金刚石车床 直线度 衍射波前 
面向光栅刻划机基座的主被动复合隔振方法研究
《机械工程师》2016年第9期46-48,共3页黄鹏 王卫荣 葛新方 
针对大面积光栅刻划机实验室存在的复杂振动因素,可能对光栅刻划机运行的刻划精度造成不良影响,为光栅刻划机基座设计一个隔振系统,隔振系统采用被动隔振与主动隔振相结合的隔振方式。为了模拟隔振器隔振性能,建立隔振系统的动力学模型...
关键词：光栅刻划机 被动隔振 复合隔振 PID 
基于虚拟硬件在环的控制软件开发被引量：4
《重庆理工大学学报（自然科学）》2016年第6期115-120,共6页刘栋材 练国富 
福建省自然科学基金资助项目(2015J01181);安徽省高校自然科学研究重点项目(KJ2016A576);合肥师范学院人才启动基金(2015rcjj04)
传统的软件产品开发过程一般首先是完成控制硬件单元的设计与制造,再进行控制软件的开发及测试。这种开发方式不仅延长了开发周期,而且在调试过程中由于硬件的影响,当软件运行发生错误时难以快速定位问题所在。为此,提出了虚拟硬件在环...
关键词：软件开发 虚拟硬件在环 光栅刻划机 
大光栅刻划机气浮刀架导轨设计与分析被引量：2
《中国激光》2015年第4期258-264,共7页宋楠 冯树龙 于海利 齐向东 巴音贺希格 唐玉国 
国家重大科研装备研制项目(ZBYZ2008-1)
尝试在大型衍射光栅刻划机中使用气浮导轨承载金刚石刻划刀具系统运行。气浮导轨同时承担刀具系统的承重与导向任务,由于使用气体作为润滑剂而接近零摩擦状态,可以避免触点磨损及低速爬行现象。分析了气浮导轨工作过程中产生的误差及该...
关键词：光栅 衍射光栅 光栅刻划机 气浮导轨 双频激光干涉仪 刀架系统 
大型衍射光栅刻划机拉杆结构的分析与改进被引量：5
《光学精密工程》2015年第3期745-752,共8页糜小涛 于宏柱 于海利 姚雪峰 宋楠 冯树龙 齐向东 
国家重大科研装备研制项目(No.ZBY2008-1);国家重大科学仪器设备开发专项资助项目(No.11YQ120023);吉林省重大科技攻关项目(No.09ZDGG005);国家973重点基础研究发展计划资助项目(No.2014CB049500);长春市科技计划资助项目(No.Y3B43HU140)
由于大型衍射光栅刻划机刻划系统的双拉杆结构不能使其满足精度指标要求,本文设计了一套单拉杆结构。讨论了石英导轨分度方向弯曲误差产生的原因及其减小该误差的方法,分析和比较了两种拉杆结构的鞍型滑块的受力情况。基于材料力学弯曲...
关键词：光栅刻划机 衍射光纤 双拉杆结构 单拉杆结构 石英导轨 
光栅刻划机进给导轨直线度误差对光栅衍射波前及杂散光的影响被引量：1
《光学学报》2015年第5期88-96,共9页黄元申 黄运柏 杨海马 李柏承 苏仰庆 盛斌 
国家自然科学基金(61378060;61205156;11105149);国家重大科学仪器设备开发专项(2012YQ170004);上海市教委曙光项目(11SG44);上海市教育委员会科研创新项目(14YZ095)
对光栅刻划机的进给导轨直线度误差做了系统的研究,推导了直线度误差对光栅衍射波面和杂散光的影响的计算公式,并且定义了干涉仪测量轴线到刻线始端这段距离为定位臂。得出以下结论:定位臂会放大进给导轨的直线度误差;光栅的衍射波前和...
关键词：光栅 直线度误差 定位臂 衍射波前 杂散光强度 
光栅刻划机衍射波前质量的主动控制校正方法被引量：4
《中国激光》2015年第1期231-238,共8页杨超 于海利 张善文 于宏柱 李晓天 唐玉国 
国家973计划(2014CB049500);国家重大科研装备研制项目(ZDYZ2008-1);吉林省重大科技攻关项目(09ZDGG005)
衍射波前质量是刻划光栅的重要性能指标之一,对于机械刻划光栅,刻划机的刻线定位精度直接影响光栅的波前质量。建立了刻划机固有存在的刻线位置和转角误差与光栅衍射波前误差间的数学关系,分析了各误差对衍射波前质量的影响。针对该误...
关键词：光栅 刻划光栅 光栅波前 刻线位置误差 转角误差 压电驱动器 
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