杨超

作品数：3被引量：9H指数：2
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供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所更多>>
发文主题：光栅光栅刻划刀架光栅刻划机刻刀更多>>
发文领域：机械工程理学电子电信更多>>
发文期刊：《光学精密工程》《仪器仪表学报》《中国激光》更多>>
所获基金：国家重大技术装备创新研制项目国家重点基础研究发展计划吉林省重大科技攻关项目国家重大科学仪器设备开发专项更多>>
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光栅刻划机衍射波前质量的主动控制校正方法被引量：4
《中国激光》2015年第1期231-238,共8页杨超 于海利 张善文 于宏柱 李晓天 唐玉国 
国家973计划(2014CB049500);国家重大科研装备研制项目(ZDYZ2008-1);吉林省重大科技攻关项目(09ZDGG005)
衍射波前质量是刻划光栅的重要性能指标之一,对于机械刻划光栅,刻划机的刻线定位精度直接影响光栅的波前质量。建立了刻划机固有存在的刻线位置和转角误差与光栅衍射波前误差间的数学关系,分析了各误差对衍射波前质量的影响。针对该误...
关键词：光栅 刻划光栅 光栅波前 刻线位置误差 转角误差 压电驱动器 
光栅刻划刀架系统的运行精度对光栅光谱性能的影响被引量：2
《光学精密工程》2014年第10期2674-2682,共9页杨超 于海利 冯树龙 李晓天 齐向东 姜珊 唐玉国 
国家自然科学基金资助项目(No.60478034);国家创新方法工作专项资助项目(No.2008IM040700);国家重大科研装备研制项目(No.ZDY2008-1);国家重大科学仪器设备开发专项资助项目(No.11YQ120023);吉林省重大科技攻关项目(No.09ZDGG005);国家973项目资助(No.2014CB049500)
采用菲涅耳-基尔霍夫衍射理论建立了存在刻线弯曲和刻线位置误差的光栅衍射谱成像数学模型,分析了上述误差对光栅光谱性能的影响。针对刻划刀架系统运行不稳定问题,设计了一套光学测量结构,并提出了刻划刀架系统的机械改进方案:采用双...
关键词：刻划刀架 刻划光栅 刻线弯曲 刻线位置误差 光栅光谱 
大光栅刻划机工作台的摆角矫正机构研制被引量：4
《仪器仪表学报》2014年第5期1065-1071,共7页杨超 于海利 糜小涛 巴音贺希格 唐玉国 
国家重点基础研究发展计划(973)项目(2014CB049500);国家重大科研装备研制项目(ZDY2008-1);科技部国家重点基础研究发展计划(2014CB049500);长春市场科技计划(Y3B43HU140)资助项目
大光栅刻划机若存在摆角误差,将直接影响刻划光栅的波前质量。首先,计算得到李特洛设置下的摆角误差与波前质量的映射关系。其次,论述了双压电触动器校正摆角的工作原理,并设计了摆角测量光路,测量在该结构下工作台的摆角校正能力。最...
关键词：光栅刻划机 刻划光栅 摆角误差 压电触动器 
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