机床三维空间关键几何误差的来源解析--XM-60多光束激光干涉仪的应用案例分享  

Source analysis of key geometric errors in three-dimensional space of machine tools

作　　者：周汉辉 

机构地区：[1]雷尼绍公司

出　　处：《世界制造技术与装备市场》2023年第2期80-83,共4页World Manufacturing Engineering & Market

摘　　要：传统的单光束激光干涉仪对机器的校准主要基于单参数测量,由于机器几何误差中各项自由度误差常常相互关联,对测量结果很少有办法找出其误差的根本来源。XM-60多光束激光干涉仪采用的是光学测量原理及多参数同步测量机理,特别是创新光学滚动角的测量技术,让我们对机器各项几何误差测量及对误差来源的分析有了全新准确快速的可溯源工具。

关 键 词：激光干涉仪 几何误差 光学测量 单光束 滚动角 多光束 测量机理 三维空间 

分 类 号：TG659[金属学及工艺—金属切削加工及机床] TH744.3[机械工程—光学工程]