蓝宝石衬底表面粗糙度检测和评定  

作　　者：丁曼曼 

机构地区：[1]广东理工学院,广东肇庆526114

出　　处：《机电技术》2023年第3期95-99,共5页Mechanical & Electrical Technology

基　　金：广东理工学院“创新强校工程”项目(2021GKJ2K002)。

摘　　要：为实现对蓝宝石衬底表面加工质量的分析评定,搭建了一套蓝宝石衬底表面微观形貌检测和评定的系统。借助光学小景深显微图像采集数据,通过改进的拉普拉斯算子进行序列图像融合,恢复图像的三维形貌,为获取精确的三维形貌,对图像进行高斯插值。为有效提取表面粗糙度参数,采用最小二乘法确定评定基准面,最后获取三维粗糙度评价参数S_(a)、S_(q)、S_(sk)、S_(ku)。

关 键 词：蓝宝石衬底 微观形貌检测 三维形貌 高斯插值 粗糙度 

分 类 号：TQ164[化学工程—高温制品工业]