激光干涉仪  

Laser Interferometer IFM600-WT(S)

出　　处：《中国科学院院刊》2023年第S01期72-72,共1页Bulletin of Chinese Academy of Sciences

摘　　要：主要技术与性能指标,测量口径:Φ600 mm(可定制到Φ800 mm),标准参考镜面形精度(PV):优于0.1λ,重复性RMS:优于0.6 nm,系统传递函数(ITF):>0.7@0.4 cycles/mm,拼接测量口径:1400 mm×420 mm,拼接测量精度(PV):优于0.1λ。主要应用,强激光装置、天文光学、空间光学等领域大口径光学元件检测。

关 键 词：激光干涉仪 面形精度 系统传递函数 大口径光学元件 天文光学 空间光学 激光装置 拼接测量 

分 类 号：TN24[电子电信—物理电子学]