相干光场波前测量仪  

Coherent Wave-Front Sensor WFS-100

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出  处:《中国科学院院刊》2023年第S01期87-87,共1页Bulletin of Chinese Academy of Sciences

摘  要:主要技术与性能指标,测量范围:连续/脉冲光、平行光、球面波、涡旋光等任意光场复振幅分布,可多波长复振幅同时测量,波长范围:决定于探测器响应光谱,工作模式:单次曝光/多次曝光,可波前数值反演,相位分辨率:优于1/15λ@632.8 nmФ100 mm,空间分辨率:5μm@632.8 nm,极限分辨率λ/2。

关 键 词:复振幅 相干光场 球面波 平行光 涡旋光 极限分辨率 多次曝光 空间分辨率 

分 类 号:O471.1[理学—半导体物理]

 

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