没有高端光刻机,芯片产业如何实现弯道超车  

作　　者：侯伟胜 

机构地区：[1]不详

出　　处：《商业观察》2023年第19期10-13,共4页BUSINESS OBSERVATION

摘　　要：众所周知,光刻机是现代科技的巅峰产物,一台光刻机需要几十个国家通力合作才能制造出来。以荷兰ASML公司的EUV光刻机为例,这种光刻机的光学组件来自于德国的Berliner Glas公司,镜片模组来自于德国蔡司,激光光源来自于美国的Crmer公司,其他零部件来自于日本KYOCERA公司。这些总数高达10万个的零部件和模组,要通过ASML公司的组装、调试才能生产出一台EUV光刻机。曾有人表示,如果说卫星上天的难度是1,那么生产一台EUV光刻机的难度就是100。正因为生产难度太高,光刻机才被称为“半导体工业皇冠上的明珠”。

关 键 词：光刻机 激光光源 半导体工业 光学组件 EUV光刻 弯道超车 模组 生产难度 

分 类 号：TN3[电子电信—物理电子学]