国产离子注入设备实现28 nm工艺全覆盖  

出　　处：《电子质量》2023年第7期118-118,共1页Electronics Quality

摘　　要：据报道,中国电子科技集团旗下中电科电子装备集团有限公司(以下简称电科装备)已实现离子注入装备28 nm工艺制程全覆盖,有力保障我国集成电路制造行业在成熟制程领域的产业安全。据悉,离子注入机是芯片制造中的关键装备,28 nm则是当前芯片应用领域中覆盖面最广的成熟制程。

关 键 词：集成电路制造 离子注入机 芯片制造 芯片应用 电子科技 电子装备 工艺制程 全覆盖 

分 类 号：TN405[电子电信—微电子学与固体电子学]