集成电路器件工艺先导技术研究进展  

作　　者：叶甜春[1] 

机构地区：[1]中国科学院微电子研究所

出　　处：《中国学术期刊文摘》2021年第10期42-44,共3页Chinese Science Abstracts(Chinese Edition)

摘　　要：1集集成电路技术发展的方向最近几年,业界一直在讨论摩尔定律是否会终止,后摩尔时代将要到来。严格来讲,摩尔定律从来不是一个科学定律,它只是一个预测,是一个路线图。等比缩小定律提出来之后,器件尺寸等比缩到1/3,就可以将集成度提高10倍,因此逐渐将摩尔定律等同于等比例缩小定律,其实并非如此。

关 键 词：摩尔定律 集成电路技术 科学定律 器件尺寸 技术研究进展 路线图 集成度 发展的方向 

分 类 号：F41[经济管理—产业经济]