椭偏仪在镀膜玻璃中的应用  

作　　者：史国华 刘起英 王振 

机构地区：[1]威海中玻新材料技术研发有限公司,威海264211 [2]东台中玻特种玻璃有限公司,东台224200

出　　处：《建筑玻璃与工业玻璃》2024年第1期13-16,共4页Architectural Glass and Functional Glass

摘　　要：0引言。椭圆偏振测量是利用偏振光束在界面或薄膜上的反射或透射时出现的偏振变换现象,根据偏振状态的变化情况来研究材料光学性质的方法。其主要优势主要包括:应用范围广泛;对透明薄膜、吸收薄膜、多层薄膜和非晶态薄膜等均可测量;样品要求简单;无损检测,测试过程方便快捷,可以同时测出折射率的实部和虚部,既可以用作分析表征,又可以用于实时监测;椭偏参数对薄膜的各种信息灵敏度极高,甚至可以检测到薄膜单原子层的变化,精确度可高至埃级。

关 键 词：偏振状态 椭偏仪 光学性质 镀膜玻璃 偏振光束 折射率 多层薄膜 无损检测 

分 类 号：O43[机械工程—光学工程]