中国首台高端光刻机赴法国参展记  

作　　者：章正远 

机构地区：[1]不详

出　　处：《文史天地》2024年第2期33-37,共5页

摘　　要：1969年“文革”期间,清华大学大批教职员工被下放到江西鄱阳湖畔的农场,在“工宣队”督导下“改造思想”,跟贫下中农学种水稻,精密仪器系的青年助教徐端颐也在其中。1970年的一天深夜,北京突然来了一个紧急电话,命令徐端颐立即返回北京,有重要任务。回到北京后,徐端颐才知道,原来是要他负责研制国家半导体工业和国防工业急需的关键设备——“自动光刻机”。

关 键 词：光刻机 半导体工业 紧急电话 鄱阳湖畔 精密仪器 徐端 清华大学 教职员工 

分 类 号：TN3[电子电信—物理电子学]