核电主泵氮化硅环金刚石涂层改性工艺及性能研究  

Research on Modification Process and Performance of Silicon Nitride Ring Diamond Coating for Nuclear Power MainPump

作　　者：朱小波 李国猛 吴优 

机构地区：[1]苏州热工研究院有限公司、国家核电厂安全及可靠性工程技术研究中心

出　　处：《电力设备管理》2024年第1期69-71,共3页Electric Power Equipment Management

摘　　要：针对核电主泵机械密封泄漏量参数异常的问题,本文提出对氮化硅密封环进行金刚石涂层表面改性的技术方案,以改善氮化硅环表面的力学性能及耐磨性能。本文采用热丝化学气相沉积法在氮化硅表面沉积纳米晶金刚石涂层,并通过SEM、XRD、Raman等分析测试方法分析了纳米晶金刚石涂层的表面形貌、晶粒尺寸及成分组成情况。同时,还对涂层的硬度和涂层与基体之间的膜基结合力进行了测试,并探究了沉积气氛中甲烷浓度对涂层性能的影响规律,揭示了影响涂层性能的关键因素,构建了涂层微观结构与宏观性能之间的关联。

关 键 词：核电主泵 金刚石涂层 氮化硅 表面改性 机械密封 

分 类 号：TG1[金属学及工艺—金属学]