用于PVD电源的新型三相LCC变换器  

A New Three Phase LCC Converter for PVD Power Supply

作　　者：王欣 乐卫平 刘涛 张香港 马泽鹤 

机构地区：[1]深圳市恒运昌真空技术有限公司

出　　处：《电力设备管理》2024年第1期294-296,共3页Electric Power Equipment Management

摘　　要：PVD直流等离子体电源在电源领域属于特种应用产品,广泛应用于集成电路制造中的金属及非金属材料溅射镀膜。针对集成电路制造产业中对PVD直流等离子体电源的应用需求,本文提出一种用于PVD电源的新型三相LCC变换器。

关 键 词：LCC变换器 PVD直流电源 第三代半导体 限流保护 

分 类 号：TM4[电气工程—电器]