一种优化MEMS可变电容电荷泵上升时间的方法  

作　　者：江昊昱 

机构地区：[1]中国兵器装备集团自动化研究所有限公司

出　　处：《电气技术与经济》2024年第2期187-190,共4页Electrical Equipment and Economy

摘　　要：近来,一种MEMS可变电容电荷泵被提出,在这种方式下,通过使用MEMS谐振器来改变每一阶的电容容值来产生一个高电压。谐振器的振幅和频率会对可变电容电荷泵的上升时间产生影响,本项研究的目的是最小化可变电容电荷泵的上升时间。

关 键 词：微机电系统 可变电容电荷泵 上升时间 振幅 频率 

分 类 号：TN751.2[电子电信—电路与系统] TM46[电气工程—电器]