离子束铣削  

出　　处：《工具展望》2023年第4期23-24,共2页Tool Review

摘　　要：离子束铣削(Ion Beam milling)是一种利用离子源在基板上进行材料去除工艺的薄膜技术。Ion Beam milling是一种离子束溅射,无论是用于预清洁还是图案蚀刻,它都有助于确保出色的附着力和3D结构的精确形成,主要用于微电子制造、光学元件制造和材料科学研究中。

关 键 词：微电子制造 离子束溅射 薄膜技术 3D结构 材料科学研究 去除工艺 光学元件 离子源 

分 类 号：F42[经济管理—产业经济]