电子级硫酸的生产工艺及发展现状  

作　　者：龚灼飞 

机构地区：[1]厦门鹭汇化工科技有限公司

出　　处：《中国科技信息》2024年第7期70-72,共3页China Science and Technology Information

摘　　要：电子级硫酸,作为半导体制造过程中不可或缺的材料,其生产工艺的优化直接关系到硅晶片清洗和蚀刻效率的提高。随技术进步,集成电路线宽细化,也对硫酸纯度的要求相应提升。可以说,电子级硫酸的生产进展不仅影响半导体行业的发展速度,也是推动信息技术产业向更高精度发展的基础。因此,本文围绕电子级硫酸的制备技术、纯化方法及质量控制机制,系统论述其生产过程的关键环节。同时,通过对国内外生产现状的比较,识别我国在该领域的发展潜力和未来趋势。以期本次研究成果,为我国电子级硫酸产业发展给予理论支持,对于提升我国半导体材料生产水平、促进电子信息产业的整体竞争力具有重要意义。

关 键 词：信息技术产业 电子信息产业 半导体制造 半导体行业 半导体材料 硅晶片 整体竞争力 集成电路 

分 类 号：TQ111.16[化学工程—无机化工]