皮秒激光在微结构制备中的应用  

作　　者：李静 王雅清 陆亚婷 周杰 倪晓昌[1] 

机构地区：[1]天津职业技术师范大学电子工程学院,天津300222

出　　处：《轻工科技》2024年第2期91-93,共3页Light Industry Science and Technology

基　　金：天津市教委科研计划项目(2021KJ003)。

摘　　要：皮秒激光是指脉冲宽度在皮秒量级的激光,具有“冷加工”、高脉冲能量、高功率密度等特点,可以对多种材料进行高精度的微细加工,广泛应用于航空航天、精密仪器、生物医学等领域。皮秒激光对材料的加工可以分为微孔加工、切割划线、表面微结构制备。综述皮秒激光在材料蚀除、金属着色、亲疏水表面、特殊晶体等材料表面微结构制备中的原理及应用,探讨其优势及存在的问题,并展望今后可能的发展方向。

关 键 词：激光加工 皮秒激光 表面微结构制备 

分 类 号：TN249[电子电信—物理电子学]