光刻机从何而来  

作　　者：梁水源 

机构地区：[1]不详

出　　处：《当代老年》2024年第4期34-35,共2页SENIORLIFE

摘　　要：在制造芯片时所需精密得令人难以置信的机器中,光刻工具是最为关键的,也是最复杂的一个。很难想象,如今纳米级的制造工艺,竟起源于美国物理学家莱思罗普将显微镜镜头倒置。作为美国陆军戴蒙德军械引信实验室的一名工程师,莱思罗普的任务是设计一种新的近距离引信,可以放入直径只有几英寸的迫击炮弹中。1958年9月的一天,莱思罗普正在为自己研制的芯片尺寸过大,无法装进炮弹而烦恼。他在用显微镜观察芯片上的晶体管时,突发奇想:既然显微镜的原本功能是把东西放大,如果把显微镜倒过来,那么某个很大的东西,肯定就会被缩小。按照这个原理,如果把一个芯片电路图放在显微镜的物镜那一端,肯定会在另一端呈现出一个大大缩小的版本。

关 键 词：迫击炮弹 美国物理学家 美国陆军 戴蒙德 芯片尺寸 芯片电路 显微镜观察 光刻机 

分 类 号：TJ4[兵器科学与技术—火炮、自动武器与弹药工程]