用于扫描电镜中的新型原位EBSD拉伸系统设计  

Design of a New In-situ EBSD Tensile System in Scanning Electron Microscope

作　　者：宋文杰 翟超[1,2] 顾永刚[1,2] 龚明[1,2] 梁莉 SONG Wen-jie;ZHAI Chao;GU Yong-gang;GONG Ming;LIANG Li

机构地区：[1]中国科学技术大学工程科学学院,安徽合肥230027 [2]中国科学技术大学工程与材料科学实验中心,安徽合肥230027

出　　处：《制造业自动化》2024年第6期175-179,共5页Manufacturing Automation

摘　　要：为了利用扫描电镜实时观测材料的力学性能测试,并对材料进行原位电子背散射(EBSD)实验,设计了一套可用于扫描电镜中的新型原位拉伸装置及上位机控制系统,该装置集成了力传感器与位移传感器,使用两个步进电机驱动两个滚珠丝杠转动,可在扫描电镜中对试样进行拉伸或者压缩。在基于LabVIEW的上位机控制系统中,通过NI数据采集卡采集原位拉伸装置中的各种传感器数据,并使用数据采集卡给步进电机驱动器发送驱动信号来驱动步进电机。利用原位拉伸装置在扫描电镜中进行Inconel 625镍基高温合金的原位拉伸EBSD观测实验。实验结果表明,本装置操控平稳精确,能够在保持拉力的同时提供稳定保载的实验环境,能够进行镍基高温合金的原位拉伸EBSD实验。本装置运行平稳精确,具有较高可靠性,满足在扫描电镜中试件原位拉伸的需求。

关 键 词：扫描电镜 原位拉伸装置 拉伸试验 电子背散射衍射 镍基高温合金 

分 类 号：TB302[一般工业技术—材料科学与工程] TH87[机械工程—仪器科学与技术]