基于MEMS光开关的技术设计与实现  

作　　者：钟昌锦[1] 

机构地区：[1]中国电子科技集团公司第三十四研究所,广西桂林541004

出　　处：《轻工科技》2024年第4期87-89,96,共4页Light Industry Science and Technology

基　　金：中央引导地方科技发展资金项目(桂科ZY23055007)。

摘　　要：随着光通信网络技术的飞速发展,MEMS光开关作为光通信链路中重要器件,其作用是对集成光路或光传输线路中的光信号进行逻辑操作或物理切换,广泛应用在MCS(Multi-Cast Switch,多播交换光开关)、IODF(Intelligent Optical Distribution Frame,智能光配)、OXC(Optical Cross-Connect,光交叉连接)中。提出一种基于MEMS技术的光开关设计方案,详细介绍1×N和M×N MEMS光开关的功能、内部结构设计、工作原理及主要性能指标。

关 键 词：MEMS 光开关 性能指标 

分 类 号：TP242[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]