陶瓷材料在微机电系统中的应用  

作　　者：孙永强 

机构地区：[1]枣庄技师学院新能源与汽车工程系,山东枣庄277800

出　　处：《陶瓷科学与艺术》2024年第5期111-111,共1页Ceramics Science & Art

摘　　要：本文探讨了陶瓷材料在微机电系统(MEMS)中的应用,分析了其在传感器、振动器和执行器等领域的价值与挑战。通过压电效应和热致效应,陶瓷材料实现了在传感器中的高灵敏度、气体检测等应用,同时在振动器和执行器领域展现出了高频振动和微小位移控制的能力。优势方面,陶瓷材料具备高温稳定性、高硬度、绝缘性能和化学稳定性等特点,适用于多种复杂环境。然而,其制备难度、脆性风险和成本问题等挑战仍需解决。通过分析陶瓷材料的优势和挑战,本文旨在为MEMS领域的研究者提供深入的理解和应用指导。

关 键 词：陶瓷材料 微机电系统 传感器 振动器 

分 类 号：TQ174.1[化学工程—陶瓷工业] TH-39[化学工程—硅酸盐工业]