MEMS光纤振动传感器在大型电机设备异常监测场景的应用研究  

作　　者：王森 郭述文 刘秉坤 

机构地区：[1]华东光电集成器件研究所,安徽蚌埠233000

出　　处：《中国设备工程》2024年第17期172-174,共3页China Plant Engineering

摘　　要：本文主要写了微机电系统(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System)光纤振动传感器在大型电机设备异常监测场景中的应用。通过对MEMS光纤振动传感器的工作原理进行深入分析,揭示了其高灵敏度、抗电磁干扰能力的内在机制。同时,详细探讨了该传感器在大型电机设备异常监测中的优势。MEMS光纤振动传感器能够准确地检测到大型电机设备的异常振动,并及时发出警报,为故障诊断和维护提供了重要依据。

关 键 词：MEMS 光纤振动传感器 大型电机设备 异常监测 

分 类 号：TP212[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]