基于铝镓砷微环谐振腔的集成量子频率梳  

Integrated Quantum Frequency Comb with AlGaAs Microring Resonator

作　　者：郑晓冬 陈哲[2] 何润秋 李玉富 陆亮亮 孔月婵[1,3] 陈堂胜 牛斌[1,3] ZHENG Xiaodong;CHEN Zhe;HE Rungiu;LI Yufu;LU Liangiang;KONG Yuechan;CHEN Tangsheng;NIU Bin(Nanjing Electronic Devices Institute,National Key Laboratory of Solid-state Microwave Devices and Circuits,Nanjing,210016,CHN;Nanjing Normal University,Nanjing,210023,CHN;Nanjing Chip Valley Industral Technology Institute,Nanjing,210016,CHN)

机构地区：[1]南京电子器件研究所,固态微波器件与电路全国重点实验室,南京210016 [2]南京师范大学,南京210023 [3]南京中电芯谷高频器件产业技术研究院有限公司,南京210016

出　　处：《固体电子学研究与进展》2024年第5期F0003-F0003,共1页Research & Progress of SSE

摘　　要：南京电子器件研究所基于自主工艺平台设计并成功研制了铝镓砷(AlGaAs)微环谐振腔量子频率梳芯片(如图1所示),得益于高非线性系数的AlGaAs微环谐振腔结构可实现高亮度的量子光源。该器件最高品质因子(Q)为1.3×10^(5),平均自由光谱范围(Free spectral range,FSR)为201 GHz(如图2所示),覆盖在C波段100 nm光谱范围,可提供大于25对量子关联光子对输出,测量1553.97 nm关联光子单计数(如图3所示)和符合计数,得到光谱亮度为2.1×10^(7)Hz/(mW^(2)·nm),符合偶然比(Coincidence to accidental ratio,CAR)为262(如图4所示),该研究为实现可扩展、全集成的低成本光量子网络及光量子精密测量提供了高亮度的集成量子频率梳光源。

关 键 词：微环谐振腔 非线性系数 自由光谱范围 铝镓砷 频率梳 ALGAAS 全集成 光量子 

分 类 号：TN40[电子电信—微电子学与固体电子学]