太阳能光伏电池PECVD设备设计探析  

作　　者：王锦 

机构地区：[1]湖南红太阳光电科技有限公司,湖南长沙410000

出　　处：《中国机械》2024年第14期90-94,共5页Machine China

摘　　要：本文旨在探讨太阳能光伏电池PECVD设备设计中的关键技术问题。首先简述了太阳能光伏电池的基本原理和PECVD技术的基本概念,接着深入分析PECVD在太阳能光伏电池制造中的应用。此外,重点分析了PECVD设备的结构、工作原理、组成部分及常用的材料和技术,以及设备设计中遇到的主要技术问题。最后,提出了相应的解决策略和方法,包括改进薄膜沉积技术、设备自动化和智能控制系统的应用以及节能和环保设计的实施,希望能够为PECVD设备的性能改善和效率提升提供一些理论基础。

关 键 词：太阳能光伏电池 PECVD 设备设计 薄膜均匀性 系统稳定性 生产效率 

分 类 号：TM914.4[电气工程—电力电子与电力传动]