一种半导体设备晶圆搬运机械手的主动控制方法研究  

作　　者：吴天尧 

机构地区：[1]沈阳芯源微电子设备股份有限公司,辽宁沈阳110169

出　　处：《中国机械》2024年第23期9-12,共4页Machine China

摘　　要：晶圆传输是半导体生产设备中的重要组成,而晶圆搬运机械手是晶圆传输的核心设备。为有效解决机械手在搬运过程中定位精准度不足的问题,本文在提出晶圆搬运机械手设计方案的基础上,对晶圆搬运机械手的主动控制方法展开研究。通过对机械手的运动学分析,研究其运动变化特征。并以PC上位机结合运动控制器作为控制方法,在同步运动控制策略的支持下,利用运动控制器、驱动装置及相应程序完成对伺服电动机的同步控制,从而提高晶圆搬运机械手的稳定性,实现精准定位。

关 键 词：半导体生产设备 晶圆搬运机械手 主动控制 运动学分析 

分 类 号：TN305[电子电信—物理电子学] TP241[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]