发明与专利  

Invents&Patents

出　　处：《传感器世界》2024年第9期44-45,共2页Sensor World

摘　　要：一种MEMS压阻式压力传感器及其制备方法申请号:202410867038.2【申请日】2024.07.01【公开号】CN118392382A【公开日】2024.07.26【分类号】G01L9/06;G01L1/18【申请人】东南大学【发明人】兰之康;黄晓东;侯赛雅;张鹏飞;张佳【摘要】本发明公开了一种MEMS压阻式压力传感器及其制备方法。

关 键 词：压阻式压力传感器 分类号 黄晓东 东南大学 MEMS 发明人 申请人 

分 类 号：TP212-18[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]