基于集成电路工艺实验教学仿真平台的“微电子器件工艺实验”课程探索研究  

作　　者：孙辉[1] 

机构地区：[1]成都信息工程大学光电工程学院,四川成都610225

出　　处：《工业和信息化教育》2024年第11期81-84,共4页Industry and Information Technology Education

基　　金：2022年四川省一流本科课程建设项目“GaAs器件制造测试一体化虚拟仿真实验”(项目编号:2023YLKC45);2020年四川省产教融合示范项目“成信大—中国网安电子信息产业产教融合综合示范建设”(项目编号:川教函〔2020〕575号)。

摘　　要：为解决“微电子器件工艺实验”课程传统教学投资巨大、不具备先进集成电路量产工艺制造设备的难题,引入集成电路工艺实验教学仿真平台,重构实验课程体系,设计并实践了集成电路制造关键工艺与关键器件制造两大类共17项实验。不同于传统示意型仿真演示,该仿真平台基于真实工业级仿真器,器件特性和工艺特性都依据相应的物理模型进行数值计算,并且平台所设置的制造工艺设备与专业方向理论课程知识点高度匹配,培养学生掌握真实制造工艺的关键设备操作、参数设计及结果分析的能力,以适应当前集成电路制造领域对人才知识技能的要求。

关 键 词：集成电路 集成电路工艺 微电子器件 器件工艺 教学仿真 

分 类 号：G642[文化科学—高等教育学]