基于改进型微带结构的MEMS低通滤波器设计与研究  

作　　者：李雨航 张永斌 校少辉 孔令志 李家碧 王若璇 张虎 

机构地区：[1]北京晨晶电子有限公司,北京100015

出　　处：《电子制作》2024年第21期114-116,113,共4页Practical Electronics

摘　　要：滤波器作为通信系统中必不可少的微波无源器件,研制小型化和高性能的滤波器已经成为主要趋势。针对设备小型化趋势下对滤波器尺寸的芯片化需求及滤波器小型化、高抑制度、宽带的难点方向,介绍了K波段不同结构的MEMS(Micro-Electro-Mechanical System)低通滤波器的设计。微带线采用了改进型弯折阶跃阻抗谐振器结构和改进型紧凑微带单元谐振器(CMRC)结构,输入输出采用易于探针测试台并且方便与外部电路集成的CPWG结构。基于MEMS技术并结合本文不同滤波器结构,设计了MEMS低通滤波器工艺步骤。

关 键 词：小型化 MEMS 低通滤波器 弯折阶跃阻抗谐振器 紧凑微带单元谐振器 

分 类 号：TN713[电子电信—电路与系统]