亚ppm级固体密度测量方法研究与应用  

作　　者：无 刘翔[2] 张竟月 许常红 郭立功 时文才 王金涛 罗志勇 佟林 暴雪松 常旭 

机构地区：[1]中国计量科学研究院 [2]中国计量科学研究院力学与声学计量科学研究所容量密度室 [3]不详

出　　处：《中国科技成果》2024年第22期7-9,共3页China Science and Technology Achievements

基　　金：中国计量科学研究院基本科研业务费重点领域课题(AKYZD2309)。

摘　　要：本项目聚焦的科学问题主要来源于以下两方面需求:基于单晶硅球X射线荧光分析(XRF)方法进行阿伏伽德罗常数(Avogadro's number)测量时,如何精确评价高纯度单晶硅棒形基体材料提纯等级和材料均相性;半导体行业关键硅基功能性材料提纯及制备工艺中,精密调控关键参数的选择及其测量方法.

关 键 词：阿伏伽德罗常数 功能性材料 半导体行业 基体材料 单晶硅球 测量方法 

分 类 号：O657.3[理学—分析化学]