EFEM通讯接口与系统设计  

EFEM Communication Interface and System Design

作　　者：吴限 林伯奇 万胜强 巴赛 WU Xian;LIN Boqi;WAN Shengqiang;BA Sai(The 48^(th) Research Institute of CETC,Changsha 410111,China)

机构地区：[1]中国电子科技集团公司第四十八研究所,湖南长沙410111

出　　处：《电子工业专用设备》2024年第6期7-9,73,共4页Equipment for Electronic Products Manufacturing

基　　金：湖南省科技厅十大技术攻关项目——8英寸Si C外延装备关键技术(2023GK1020)资助。

摘　　要：为了实现对外延设备EFEM(Equipment Front End Module)模块的控制,阐述了一种基于Modbus通信协议的自动化控制系统。主要讨论了系统的硬件组成,并详细分析了Modbus RTU协议工作方式,同时,在软件层面上说明了接口控制的协议指令定义规则与常规运行流程。In order to realize the control of EFEM(Equipment Front End Module)of epitaxial equipment,an automatic control system based on Modbus communication protocol is described.The hardware composition of the system is discussed,the working mode of the Modbus RTU protocol is analyzed in detail,and the protocol instruction definition rules and general operation process of interface control are explained at the software level.

关 键 词：接口协议 MODBUS通信协议 机器人 设备前端模块(EFEM) 

分 类 号：TN304.05[电子电信—物理电子学]